参数化测试

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FS-MEMS

传感微结构参数测试仪

MEMS传感器测试 动态与静态参数 Q值与谐振频率

FS-MEMS 是一款专用于传感器结构参数测试功效的系统,为 MEMS 传感器电学参数提供晶圆级解决方案,可知足差异客户的定制化需求。

  • 内置数字 IO 模块,搭配智能探卡,无需替换线缆,通过一键操作即可完成。

  • 支持动态和静态参数测试,周全笼罩电流电压(IV)、电容电压(CV)、泄电、电阻、谐振频率、Q 值、正交系数、-3dB 带宽等要害电学参数,实现自动测试。

  • 硬件基于 PXI 架构,具有强盛的系统扩展性,支持多通道并行测试,从而提高测试效率。

  • 系统内置专业测试软件,为客户提供友好的参数设置界面,操作简朴,可轻松完成参数设置。

  • 包罗多项功效?,可测试角速率计(陀螺仪)、加速率计、压力传感器、光流量计、红外传感器等基于 MEMS 结构的微传感器。


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产物亮点

  • 设置便捷

    无需换线
    一键完成新闻态参数

  • 测试高效

    支持多通道并行测试
    提高测试效率

  • 界面友好

    友好的参数设置界面、操作简朴
    可轻松完成参数设置

产物应用

  • MEMS惯性传感器
    测试
    角速率计&加速率计

  • MEMS
    压力传感器
    测试

  • 基于微久魅阵列的
    MOEMS传感器
    测试

  • 多轴复合式
    MEMS传感器
    测试

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